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さまざまな分野への応用が加速しているナノインプリント技術。研究・開発・応用・製品化のさまざまはステップで必要となるナノインプリント用モールドをご提供します。
弊社は半導体微細加工技術の応用として、20年以上前からナノインプリント用モールドをご提供してまいりました。この間多くのお客様からのご指導いただき、1000点以上のモールドをご提供してきた豊富な実績があります。
大学・研究機関・企業、また半導体・光・IT・バイオ・メディカル等の広い分野のお客様からご用命を賜わっております。
ナノインプリント用モールド微細加工技術・製造ノウハウ
■モールド材料
石英・シリコン・SiC・Niなど、お客様のナノインプリントに応じた材料をご指定いただけます。
■極微細
最小20nmのパターンからμmオーダまで。高いアスペクト比も可能です。
■パターン
単一パターンの繰返配列から、回路パターン等の複雑なパターンまでご対応します。
■多段差パターン
ホログラムなどに用いるマルチレベル段差パターンもご提供しています。
■三次元形状
微小なマイクロレンズアレイ(MLA)や反射防止体(モスアイ構造)、逆四角錘パターンをはじめさまざまな形状を加工します。
■高い形状精度
加工形状についても切れの良いエッジとご評価いただいています。側壁制御によるテーパ、逆テーパ形状の微細構造もご対応いたします。ご相談ください。
ナノインプリント用モールド製作依頼の流れ
まずはご相談ください
カスタムモールドでは事前のお打合せがとても重要です。まずはお客様のご希望やイメージをご連絡ください。細かいご相談やご質問にも丁寧におこたえいたします。
カスタムモールド 微細パターン加工例
NTT-ATの様々な形状、寸法のナノインプリントモールドの微細加工の一例です。ご希望のパターン、基板の種類等についてお気軽にご相談ください。
| 極微細パタン | 高アスペクト比パタン |
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| マルチレベルパタン | V溝型、ブレーズ型パタン |
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8レベルパタン |
1μｍピッチV溝 |
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| 円錐状パタン（Moth-eye構造） | 球面パタン（マイクロレンズ） |
|---|---|
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8レベルパタン |
1μm、ザグ0.3μm |
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| 四角錐パタン | 深堀パタン |
|---|---|
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四角錐パタンアレイ |
高さ40μm円柱パタン |
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