次世代LSIのキーテクノロジとしてX線リソグラフィは早くから注目され、その開発にNTT研究所は多くのリソースを投入してきました。NTT-ATでは、このNTT研究所がX線マスク開発で培った各種の要素技術を用いて、超微細化製品の開発・提供を行っています。